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Nitreto de Alumínio: O "Game-Changer" na Indústria de Semicondutores

2026-10-09

Estrutura e propriedades

O nitruro de alumínio (AlN) é um cristal dominado por ligações covalentes, um nitruro hexagonal semelhante a um diamante.para a sua classificação como um semicondutor de banda-gap diretaA sua estrutura cristalina é semelhante à do BeO e do SiC. Devido à natureza altamente direcional das suas ligações covalentes,O AlN oferece propriedades físicas e químicas excepcionais, tais como alta condutividade térmica.

Método CVD para o nitreto de alumínio em pó

A deposição química por vapor (CVD) é uma via eficaz para produzir pó de AlN com tamanho de partícula uniforme, alta pureza e grande área específica de superfície.Os compostos voláteis da fonte de alumínio (halogenetos de alumínio ou alquiláulico) e a amônia (NH3) são introduzidos na câmara de reação para reagirDurante a reação, o NH3 se decompõe para fornecer átomos de nitrogênio ativo, e o pó de AlN é formado através da deposição em fase gasosa.

Os benefícios deste método incluem a alta pureza do produto e o tamanho das partículas finas.O alquila-alumínio é dispendioso e requer armazenamento e transporte especiais sob proteção de gás inertePor conseguinte, este processo permanece sobretudo na fase de investigação laboratorial e ainda não alcançou a industrialização em larga escala.

Aplicações do nitreto de alumínio na indústria de semicondutores

Substratos de embalagens eletrónicas
Componentes de equipamentos de semicondutores
Materiais de substrato de semicondutores
Materiais de película fina de nitruro de alumínio

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