cooling water system (287) Fabricante em linha
Estrutura: única câmara, tipo horizontal, parte dianteira e porta traseira da fornalha
Dimensão: 500*500*1800
estrutura: única câmara, tipo horizental
Elemento de aquecimento: Grafite
Elemento de aquecimento: Grafite, Molibdênio
Sistema de controlo da temperatura: Controlo automático do PID
estrutura: única câmara, tipo horizental
Dimensão: Personalizado
estrutura: única câmara, tipo horizental
Dimensão: 500*500*1800
Temperatura de revestimento: 200-1050°C
Sistema de arrefecimento: 2 conjuntos de armadilhas de condensado refrigeradas a água de alto desempenho
Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
Temperatura de processo (°C): 700 a 1050
Tipos de revestimento: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Temperatura de processo (°C): 700 a 1050
Tipos de revestimento: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Temperatura de processo (°C): 700 a 1050
Tipos de revestimento: TiC、TiN、TiCN、a-AL2O3、K-AI2O3
Temperatura de processo (°C): 700 a 1050
Precursores e gases de processo: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Max.Temperatura de trabalho: 2500 ℃
Temperatura uniformidade: ≤±5℃
Espaço efetivo ((mm): 1000*1000*1500
Potência de aquecimento ((KVA): 300
Max.Temperatura de trabalho: 1800℃
Temperatura uniformidade: ≤±5℃
Temperatura Max. Trabalho (℃): 2100
Uniformidade de temperatura ((°C): ≤±5
Max.Temperatura de trabalho: 1800 ℃
Uniformidade da temperatura: ≤ ± 5 ℃
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