Fornos de revestimento CVD de carburo de silício para supressores de grafite ou anéis de gravação

Fornos de revestimento CVD de carburo de silício para supressores de grafite ou anéis de gravação

Este equipamento é utilizado para a deposição de carburo de silício na superfície de materiais à base de carbono/cerâmica, especialmente para o suporte de semicondutores e anel de gravação.

Susceptor de grafite, um disco de grafite de alta pureza, com um sulco circular para fixar o substrato da bolacha.uma camada de filme de cristal crescerá na superfície do substrato, que é a camada epitaxial.

Os processos de wafer, como litografia e implantação de íons, são todos realizados na camada epitaxial.A base epitaxial feita de grafito não pode obviamente satisfazer os requisitos de limpeza ultra elevados no processo de semicondutores..

Por esta razão, precisamos de usar deposição de vapor químico na base para envolver uma camada de filme denso de carburo de silício.

• Padrões de concepção

O equipamento é concebido em conformidade com os requisitos do Instituto de Supervisão Técnica e de Qualidade para recipientes sob pressão e é qualificado após ensaio sob pressão e enviado.O projecto e a construção eléctricos cumprem as normas nacionais.

• Teste pré-instalação e pré-aceitação

O equipamento é totalmente montado na nossa fábrica, incluindo todos os tubulações, tubulações de vácuo, tubulações de gás de processo, tubulações de água de resfriamento, tubulações de ar comprimido, etc.Os ensaios prévios podem ser realizados após a instalaçãoNo local do cliente, as tubulações, para além do equipamento, são fornecidas pelo cliente.O cabo principal que liga o gabinete de alimentação é fornecido pelo cliente.Após a instalação, realizamos testes de vazão e de vazamento de pressão positiva em todo o equipamento, bem como testes de função mecânica e elétrica.

• Desmontagem e transporte

O equipamento será desmontado em várias partes grandes, embalado de forma normalizada e carregado no veículo de transporte.

• Instalação e colocação em serviço no local do cliente

O engenheiro pós-venda da Redel irá liderar a equipe para concluir o comissionamento, o ensaio do produto e outros trabalhos dentro de 20 dias úteis.O cliente deve fazer os preparativos adequados e fornecer as ferramentas necessárias, tais como equipamento de elevação e elevação. e fornecer apoio de pessoal de instalação (recomenda-se ter 1 pessoal mecânico e 1 pessoal elétrico).

• Aceitação final

Após a instalação e colocação em serviço, o equipamento pode ser finalmente aceite em conformidade com os requisitos do contrato técnico.

• Formação

Os nossos engenheiros pós-venda fornecerão um treinamento sistemático e completo no local, incluindo operação, manutenção, solução de problemas, etc.

• Transmissão de dados técnicos

Para assegurar a operação segura e a manutenção dos equipamentos, os seguintes dados técnicos serão fornecidos aos clientes:

1. Disposição da instalação do equipamento

2. Manual de utilização

3Lista de peças de reposição

4Desenhos eléctricos

5Manual do componente