China CVD Furnace Manufactures, Máquina de revestimento de carburo de silício

China Fornos CVD fabricantes de revestimento de carburo de silício

Este equipamento é utilizado para revestimento por carburo de silício de materiais à base de carbono/cerâmica,especialmente deposição de carburo de silício na superfície do suscetor epitaxial do semicondutor e do anel de gravação.

Fornos CVD utilizados para o processo de deposição química de vapor (CVD).A deposição química de vapor é um processo no qual uma película fina é depositada em um substrato usando uma reação química entre gases precursores vaporizados e uma superfície aquecida..

Base epitaxial, um disco de grafite de alta pureza, com um sulco circular para fixar o substrato da bolacha.Após colocá-los no forno, uma camada de filme de cristal crescerá na superfície do substrato, que é a camada epitaxial.Os processos de wafer, como litografia e implantação de íons, são todos realizados na camada epitaxial.

A base epitaxial feita de grafite não pode obviamente satisfazer os requisitos de limpeza ultra elevados no processo de semicondutores.Por esta razão, precisamos de usar deposição de vapor químico na base para envolver uma camada de filme denso de carburo de silício.

• Padrões de concepção

O equipamento é concebido em conformidade com os requisitos do Instituto de Supervisão Técnica e de Qualidade para recipientes sob pressão e é qualificado após ensaio sob pressão e enviado.O projecto e a construção eléctricos cumprem as normas nacionais.

• Teste pré-instalação e pré-aceitação

O equipamento é totalmente montado na nossa fábrica, incluindo todos os tubulações, tubulações de vácuo, tubulações de gás de processo, tubulações de água de resfriamento, tubulações de ar comprimido, etc.Os ensaios prévios podem ser realizados após a instalaçãoNo local do cliente, as tubulações, para além do equipamento, são fornecidas pelo cliente.O cabo principal que liga o gabinete de alimentação é fornecido pelo cliente.Após a instalação, realizamos testes de vazão e de vazamento de pressão positiva em todo o equipamento, bem como testes de função mecânica e elétrica.

• Desmontagem e transporte

O equipamento será desmontado em várias partes grandes, embalado de forma normalizada e carregado no veículo de transporte.

• Instalação e colocação em serviço no local do cliente

O engenheiro pós-venda da Redel irá liderar a equipe para completar o comissionamento, o ensaio do produto e outros trabalhos dentro de 20 dias úteis.O cliente deve fazer os preparativos adequados e fornecer as ferramentas necessárias, como equipamento de elevação e elevação. e fornecer apoio de pessoal de instalação (recomenda-se ter 1 pessoal mecânico e 1 pessoal elétrico).

• Aceitação final

Após a instalação e colocação em serviço, o equipamento pode ser finalmente aceite em conformidade com os requisitos do contrato técnico.

• Formação

Os nossos engenheiros pós-venda fornecerão um treinamento sistemático e completo no local, incluindo operação, manutenção, solução de problemas, etc.

• Transmissão de dados técnicos

Para assegurar a operação segura e a manutenção dos equipamentos, os seguintes dados técnicos serão fornecidos aos clientes:

1. Disposição da instalação do equipamento

2. Manual de utilização

3Lista de peças de reposição

4Desenhos eléctricos

5Manual do componente

Perguntas frequentes

É uma fábrica ou uma empresa comercial?

P: É uma fábrica ou uma empresa comercial?

R: Somos o principal fabricante de fornos a vácuo de alta temperatura da China, com mais de 10 anos de experiência.

Tem serviços de personalização ou OEM?

P: Você tem serviço de personalização ou OEM?

R: Sim, temos uma poderosa equipa de I&D e equipamento de alta tecnologia. Assim, não só podemos fornecer o modelo normal, mas também o forno personalizável como o repúrio dos nossos clientes.

Qual é a sua vantagem?

P: Qual é a sua vantagem?

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Resposta rápida ao seu pedido.

L Alto controlo de qualidade

L Cadeia de abastecimento estável

L Entrega atempada

Excelente serviço pós-venda