Forno de crescimento de epitaxia para o carburo de silício HTCVD ((CVD SIC))

Este equipamento é utilizado para revestimento por carburo de silício de materiais à base de carbono/cerâmica,especialmente deposição de carburo de silício na superfície do suscetor epitaxial do semicondutor e do anel de gravação.

A taxa de revestimento é um indicador muito importante para os clientes a jusante, que está directamente relacionado com a capacidade de produção dos equipamentos.O nosso equipamento pode atingir uma taxa de deposição de 50 microns por hora, e podem também ser equipados com arrefecimento rápido, o que reduz muito o tempo de produção.

Características técnicas

1. Utilizando várias zonas de controlo de temperatura, grande uniformidade de temperatura;

2. Câmara de deposição especialmente concebida com bom efeito de vedação e grande desempenho anti-contaminação;

3. Utilizando múltiplos canais de deposição com fluxo de gás uniforme, sem ângulo morto de deposição e superfície de deposição perfeita;

4Tem tratamento para o alcatrão, poeira sólida e gases orgânicos durante o processo de deposição

• Padrões de concepção

O equipamento é concebido em conformidade com os requisitos do Instituto de Supervisão Técnica e de Qualidade para recipientes sob pressão e é qualificado após ensaio sob pressão e enviado.O projecto e a construção eléctricos cumprem as normas nacionais.

• Teste pré-instalação e pré-aceitação

O equipamento é totalmente montado na nossa fábrica, incluindo todos os tubulações, tubulações de vácuo, tubulações de gás de processo, tubulações de água de resfriamento, tubulações de ar comprimido, etc.Os ensaios prévios podem ser realizados após a instalaçãoNo local do cliente, as tubulações, para além do equipamento, são fornecidas pelo cliente.O cabo principal que liga o gabinete de alimentação é fornecido pelo cliente.Após a instalação, realizamos testes de vazão e de vazamento de pressão positiva em todo o equipamento, bem como testes de função mecânica e elétrica.

• Desmontagem e transporte

O equipamento será desmontado em várias partes grandes, embalado de forma normalizada e carregado no veículo de transporte.

• Instalação e colocação em serviço no local do cliente

O engenheiro pós-venda da Redel irá liderar a equipe para completar o comissionamento, o ensaio do produto e outros trabalhos dentro de 20 dias úteis.O cliente deve fazer os preparativos adequados e fornecer as ferramentas necessárias, como equipamento de elevação e elevação. e fornecer apoio de pessoal de instalação (recomenda-se ter 1 pessoal mecânico e 1 pessoal elétrico).

• Aceitação final
Após a instalação e colocação em serviço, o equipamento pode ser finalmente aceite em conformidade com os requisitos do contrato técnico.

• Formação
Os nossos engenheiros pós-venda fornecerão um treinamento sistemático e completo no local, incluindo operação, manutenção, solução de problemas, etc.

• Transmissão de dados técnicos

Para assegurar a operação segura e a manutenção dos equipamentos, os seguintes dados técnicos serão fornecidos aos clientes:

1. Disposição da instalação do equipamento
2. Manual de utilização
3Lista de peças de reposição
4Desenhos eléctricos
5Manual do componente

Perguntas frequentes

É uma fábrica ou uma empresa comercial?

P: É uma fábrica ou uma empresa comercial?
R: Somos o principal fabricante de fornos a vácuo de alta temperatura da China, com mais de 10 anos de experiência.

Tem serviços de personalização ou OEM?

P: Você tem serviço de personalização ou OEM?
R: Sim, temos uma poderosa equipa de I&D e equipamento de alta tecnologia. Assim, não só podemos fornecer o modelo normal, mas também o forno personalizável como o repúrio dos nossos clientes.

Qual é a sua vantagem?

P: Qual é a sua vantagem?
A:

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L Alto controlo de qualidade

L Cadeia de abastecimento estável

L Entrega atempada

Excelente serviço pós-venda