Lugar de origem:
China
Marca:
Ruideer
Certificação:
CE
Número do modelo:
630.530.430
Forno de vácuo de laboratório Cvd personalizado Forno de revestimento de deposição de vapor químico Cvd
O que é deposição química de vapor?
A deposição química de vapor é um processo que envolve a reação de um precursor volátil que é injetado em uma câmara (normalmente sob vácuo).A câmara é aquecida a uma temperatura de reação que faz com que o gás precursor reaja ou se decomponha no revestimento desejado e se ligue à superfície do materialCom o tempo, o material de revestimento acumula-se na superfície e cria um revestimento em toda a superfície da peça exposta.Então, por exemplo, se quisermos ligar o silício a uma superfície, podemos usar um precursor de triclorosilano.Quando o triclorosilano é aquecido na câmara de revestimento, a reacção de decomposição e revestimento pode ser a seguinte.
SiHCl3→ Si + Cl2+ HCl
Máquina de revestimento CVDÉ uma técnica de revestimento a vácuo de última geração, que utiliza equipamento de deposição química para depositar uma fina camada de material na superfície de um substrato.Este tipo de aparelho de revestimento de superfícies oferece uma ampla gama de velocidades de revestimento, de 0,1 a 2,0 m/min. Dispõe igualmente de uma pressão de revestimento precisa e uniforme, com uma estabilidade de pressão de - ± 2mbar.que assegura uma temperatura estável do substrato para resultados ótimos de revestimento. Todo o processo é controlado por um sistema PLC, que garante espessura e uniformidade de revestimento precisos.
Modelo de equipamento | CVD430-1250 | CVD430-1600 | CVD530-1250 | CVD530-1600 | CVD630-1250 | CVD630-1600 |
Espaço efetivo ((mm) | Φ400X1250 | Φ400X1600 | Φ500X1250 | Φ500X1600 | Φ600X1200 | Φ600X1600 |
Potência de aquecimento ((KW) | 39 | 48 | 45 | 55 | 65 | 80 |
Quantidade de zona de aquecimento | 4 | 5 | 4 | 5 | 4 | 5 |
Impressão do equipamento ((mm) | 6000*5800*4800 | 6000*5800*5100 | 6500*6000*4800 | 6500*6000*5100 | 7200*6200*4800 | 7200*6200*5100 |
Temperatura do processo(°C) | 700 a 1050 | |||||
Precursores e gases de processo | TiCL4AICL3CH3CN,H2, N2Ar, CH, CO, CO2HCI, H2S | |||||
Tipos de revestimento | TiC,TiN,TiCN,a-AL2O3K-AI2O3 | |||||
Equipamento opcional |
1. Neutralizador de gás desligado (incluindo dispositivo de evacuação); 2. Distribuidor de gás de segunda fase (incluindo tubulação); 3Estação de serviço (incluindo oleoduto) |
• Padrões de concepção
O equipamento é concebido em conformidade com os requisitos do Instituto de Supervisão Técnica e de Qualidade para recipientes sob pressão e é qualificado após ensaio sob pressão e enviado.O projecto e a construção eléctricos cumprem as normas nacionais.
• Teste pré-instalação e pré-aceitação
O equipamento é totalmente montado na nossa fábrica, incluindo todos os tubulações, tubulações de vácuo, tubulações de gás de processo, tubulações de água de resfriamento, tubulações de ar comprimido, etc.Os ensaios prévios podem ser realizados após a instalaçãoNo local do cliente, as tubulações, para além do equipamento, são fornecidas pelo cliente.O cabo principal que liga o gabinete de alimentação é fornecido pelo cliente.Após a instalação, realizamos testes de vazão e de vazamento de pressão positiva em todo o equipamento, bem como testes de função mecânica e elétrica.
• Desmontagem e transporte
O equipamento será desmontado em várias partes grandes, embalado de forma normalizada e carregado no veículo de transporte.
• Instalação e colocação em serviço no local do cliente
O engenheiro pós-venda da Redel irá liderar a equipe para completar o comissionamento, o ensaio do produto e outros trabalhos dentro de 20 dias úteis.O cliente deve fazer os preparativos adequados e fornecer as ferramentas necessárias, como equipamento de elevação e elevação. e fornecer apoio de pessoal de instalação (recomenda-se ter 1 pessoal mecânico e 1 pessoal elétrico).
• Aceitação final
Após a instalação e colocação em serviço, o equipamento pode ser finalmente aceite em conformidade com os requisitos do contrato técnico.
• Formação
Os nossos engenheiros pós-venda fornecerão um treinamento sistemático e completo no local, incluindo operação, manutenção, solução de problemas, etc.
• Transmissão de dados técnicos
Para assegurar a operação segura e a manutenção dos equipamentos, os seguintes dados técnicos serão fornecidos aos clientes:
1. Disposição da instalação do equipamento
2. Manual de utilização
3Lista de peças de reposição
4Desenhos eléctricos
5Manual do componente
Perguntas frequentes
P: É uma fábrica ou uma empresa comercial?
R: Somos o principal fabricante de fornos a vácuo de alta temperatura da China, com mais de 10 anos de experiência.
P: Você tem serviço de personalização ou OEM?
R: Sim, temos uma poderosa equipa de I&D e equipamento de alta tecnologia. Assim, não só podemos fornecer o modelo normal, mas também o forno personalizável como o repúrio dos nossos clientes.
P: Qual é a sua vantagem?
A:
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